特种气体工艺系统

特种气体工艺系统

特种气体工艺系统的设计应满足实验室实验对特种气体工艺参数，污染控制，使用的安全要求，以满足正常的供气需求。

特种气体管道输送系统

特种气体管道输送系统

特种气体管道输送系统应包括特种气体储存、分配管道系统、工艺设备和尾气处理系统的管道以及管件、阀门、过滤器、减压装置、压力释放装置、压力检测装置等部件。

生命安全系统

生命安全系统

特种气体管理系统应配置特种气体的连续检测、指示、报警的功能，并应能记录、存储和打印；宜为独立的系统，应具有特种气体探测、应急处理、工作管理、监视、数据传输与处理的功能。

高纯气体整体解决方案

高纯气体整体解决方案

高纯气体是指纯度在5N(99.999%)以上的气体，高纯气体系统则是指高纯气体的控制、输送、分配、管理的整个过程。